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潔淨室浮遊菌和沉降菌濃度
2026-01-14浮遊菌和沉降菌濃度
浮遊菌濃度是指經過對已采樣的培養皿或培養基條培養後得出的菌落數，代表單位體積空氣中的活菌數，以個/m3表示。沒有采到的或者沒有存活的細菌並未計人。
每一個菌落代表一個活細菌繁殖成的一個菌團，用英文縮寫符號表示就是lcfu。沉降菌濃度是指對經過一定時間(如30min)沉積到培養皿上的細菌培養後生成的菌落數，一個菌落就是一個細菌繁殖成的菌團，即1cfu。
菌濃參數主要在生物潔淨室使用。但細菌不僅對生物潔淨室而且也對半導體一類工業潔淨室有重要影響。
不同的生物潔淨室要求的菌濃標準是不同的。過去國內外標準多用浮遊菌濃度來表達。
1968年，兩位美國學者(Blwer和Wallace)觀察到空氣中含菌量為20~50個/ft3(707~1767個/m3)時，汙染微粒的總病菌數中金黃色葡萄球菌(具有代表性的致病菌)比例可達到5%，此時極易引起敗血症，美國傳染病中心的研究也證實了上述結果。
世界衛生組織(WHO)推薦的醫院浮遊菌濃度標準見表5-18。
這裏要特別指出的是，浮遊菌濃度和沉降菌濃度一定不要互相換算，雖然理論上可以這樣做，但實際上會帶來一些麻煩，這在作者的<<空氣潔淨技術原理>>、<<醫院潔淨手術室建設實施指南>>中都有論述。合適的做法是用各自的標準來衡量。有害的微生物不僅對人有害，而且對工業製品也有很大的影響。對電子電氣儀器和製品，在線路板底板的樹脂與導體表麵生長的黴菌菌絲會降低絕緣性能。有害微生物還會腐蝕聚氯乙烯(PVC)的包覆電線、發電機線圈、電容器等，會使環氧樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰胺樹脂老化。在光學鏡頭上生長的灰綠曲黴菌會使玻璃受到腐蝕。細菌、黴菌能在化妝品中繁殖，對皮膚不利。黏結劑裏也能生長黴菌，大大影響黏結性能。
如果以集成電路為例，微生物的影響明顯表現在以下幾方麵。
1.異物影響
當微生物以幾到數百微米存在於矽片表麵時，影響如圖5-11所示。在n型片上有一層SiO2膜，通過帶有一定圖形的光刻膠膜，使用光刻板把SiO2膜一部分用幹式腐蝕法腐蝕掉。在幹式腐蝕工藝之前，如微生物像圖5-11(a)所示那樣，在SiO2膜表麵某部分繁殖起來，則這一部分就起到了幹式腐蝕時的掩膜版作用，留下其下的SiO2[見圖5-11(b)]。下道工序在掩膜版圖形區內用離子注人法進行硼擴散時，如圖5-11(c)所示，在原有微生物處就不能形成p型區，還會使接觸式光刻機接觸不良，這就是異物導致產品質量不良的原因。- 上一篇：有關潔淨室過濾器的分類
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