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潔淨室有關靜電的參數
2026-01-14有關靜電的參數
潔淨室中由於靜電引起的事故屢有發生，因此潔淨室的防靜電能力如何已成為評價其質量的一個不可忽視的方麵。
所謂靜電，是由於摩擦等原因破壞了物體中正(十)負(一)電荷等量的電中性狀態，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態，由於這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。
在潔淨室內靜電導致的事故有以下幾方麵。1.靜電放電引起的靜電電擊，會引起人的不安全感和恐懼感，可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內，搖晃數次後，與非門柵嚴重擊穿者計39塊，失效率竟達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏，見表5-10;
3靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;4靜電放電的發光可導致照相膠片等感光破壞;
5靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞、紡紗線紛亂、印刷品深淺不均和製品汙染;
6靜電放電引起的最危險的危害是成為可燃物的火源並引起爆炸，例如國外文獻統計，在手術室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，有36次爆炸，其中由靜電引起的21次。
靜電事故的產生主要在於靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨、噴塗、射流、洗滌、攪拌、黏合和剝離等操作，所有這些都可能產生靜電。在一般情況下，越是電導率小的非導體(絕緣體)，由於電荷產生後不易流動，因此越容易
帶電。靜電問題所以在潔淨室中特別嚴重，是因為不僅在潔淨室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔淨室中的許多材料如塑料地麵、牆麵，尼龍、的確良等的工作服都有很高的電阻率，都極易產生靜電和聚集靜電，在潔淨室的靜電災害未被重視以前，這些材料是被廣泛采用的。表5-11列舉了國內幾個集成電路生產用潔淨室帶電狀態的兩次測定數據。
表5-12列舉了在進行超高頻晶體管和超高頻二極管的各道工序中，操作人員身上的電位。
穿棉工作服時，操作人員身上電位最小(50~200V)，穿某些合成材料製的服裝的操作人員，身上電位在2500V以上，最高可達10kV以上，而且所有上述這些數值還不是最高值。- 上一篇：潔淨室微粒尺寸影響效率的因素
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