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潔淨室氣體係統施工與驗收
2025-11-26氣體係統
6.1一般規定
6.1.1潔淨室氣體係統施工包含工作壓力一般不高於1MPa清淨的和高純的永久氣體、特種氣體、醫用氣體、可燃氣體、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。
6.2 管材及附件
6.2.1 氣體係統管道材質及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時應與潔淨室潔淨度級別和輸送氣體性質相適應，並應符合下列規定:
1應使用無縫管材。
2 管材內表麵吸附、解吸氣體的作用小。3 管材內表麵應光滑、耐磨損。4 應具有良好的抗腐蝕性能。
5 管材金屬組織在焊接處理時不應發生變化。6 負壓管道不宜采用普通碳鋼管。
6.2.2 所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、鏽斑、表麵損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。
6.2.3成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。
6.2.4 氧氣閥門必須采用專用產品，其密封圈應采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質。填料應采用經脫脂處理的聚四氟乙烯。
6.2.5 采用銅材的高純氣體管路，可用不鏽鋼材質的附件，但在不鏽鋼材質的管路中，不應采用銅質的附件。- 上一篇：潔淨室風係統的施工安裝
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