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潔淨室標準和級別概況
2025-11-131961年誕生了世界上最早的潔淨室標準即美國空軍技術條令203，並把編製聯邦政府標準的任務交給了原子能委員會的出版機構。1963年底頒發了潔淨室第一個軍用部分的聯邦標準即FS209(按:美國國家標準為ANSI)。從此，美國聯邦標準209 即成為國際上最通行、最著名的潔淨室標準。如果說當時通過對各類生產環境潔淨度進行大量調研後得到的認識一潔淨室內塵粒分布規律基本上接近對數正態分布，從而提出了這一分布的平行線關係，是標準203的重要基石，那麽美國的威利斯·華德弗爾德提出的關於潔淨室的層流概念(這不是流體力學上的同一概念)則是標準209的理論基石，也是後來各種潔淨室標準的基礎。
1966年頒布了修訂後的209A，1973年又頒布了修訂的209B，並於1976年再次頒行了 209B修正案1。
在這一段時期裏，許多國家也相繼製定了潔淨室的標準，其內容特別是潔淨度分級基本參照美國標準。
但是，由於濫用聯邦標準209B，加之原標準中一些概念不清，以及對所謂10級、1級潔淨度的需要，促使美國修改209B。這一工作首先由IES(美國環境科學協會)發起，經GSA(美國總務管理局)認可和授權，成立了RP-50委員會，包括來自政府、微電子公司、儀器製造廠的人員，潔淨室顧問、潔淨室用戶及潔淨室測試人員，終於在1987年10月27日頒發了FS209C。209C又於1988年6月15日被新的209D所取代，209D又於1992年3月11日被209E取代，- 上一篇：實驗動物的生理指標和要求的環境指標
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