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電子廠房淨化項目的實施流程（全生命周期管理）

1. 前期規劃與設計階段（奠定基礎）

• 需求調研：明確產品類型（如芯片 / PCB / 元器件）、生產工藝（如光刻 / 組裝 / 測試）、產能規模，結合行業標準確定潔淨等級、溫濕度、ESD 等核心指標；
• 場地勘測：評估廠房結構（層高、承重、梁柱位置）、周邊環境（是否有汙染源）、市政配套（水電燃氣供應能力），避免設計與現場條件衝突；
• 方案設計：由專業淨化工程公司出具詳細設計方案，包括：
  • 平麵布局：劃分潔淨區、緩衝間（風淋室 / 貨淋室）、更衣區、設備區、倉儲區，高潔淨區需設置 “二次更衣”（從普通區到潔淨區需經過更衣→洗手→風淋除塵）；
  • 係統設計：HVAC 係統風量計算、FFU 布置密度、風管走向、過濾器選型；圍護結構材料選型、節點密封設計；防靜電、純水、消防係統整合方案；
• 成本預算與審批：根據設計方案編製預算（含設備采購、施工、檢測、運維儲備金），明確項目周期（一般 1000㎡以下淨化區周期 2-3 個月，1000-5000㎡周期 4-6 個月）。

2. 施工建設階段（質量管控核心）

• 施工準備：搭建施工臨時設施，對現場進行封閉管理（避免外部粉塵汙染），施工人員需經過潔淨培訓（穿戴臨時潔淨服）；
• 主體施工順序（遵循 “先粗後精、先外後內”）：
  1. 圍護結構施工：先安裝牆體→吊頂→地麵，接縫處嚴格密封，完成後進行氣密性測試（漏風率≤0.5%）；
  2. 管線安裝：鋪設風管、水管、電線電纜，風管安裝後需進行清潔（避免內部積塵），水管做壓力測試（防止漏水）；
  3. 設備安裝：安裝 HVAC 機組、FFU、高效過濾器、冷水機組、純水設備、防靜電設備等，設備安裝後需調試運行；
  4. 潔淨收尾：對施工區域進行全麵清潔（用無塵布、專用清潔劑，避免產生粉塵），移除施工垃圾，封閉所有臨時開口；
• 施工質量管控：重點檢查密封性能（圍護結構、風管接縫）、過濾器安裝精度（無漏風）、防靜電性能（電阻值測試）、溫濕度控製精度，避免後期整改。

3. 檢測驗收階段（達標關鍵）

• 潔淨度檢測：用粒子計數器在不同區域（送風口、工作區、回風口）多點采樣，檢測≥0.1μm、≥0.5μm 粒子濃度，需符合對應 ISO 等級要求；
• 溫濕度與壓差檢測：連續 24 小時監測，記錄溫濕度波動範圍、各區域壓差數值，確保符合設計標準；
• ESD 性能檢測：測試地麵、牆麵、設備的電阻值，人員靜電釋放時間，需滿足電子行業 ESD-S20.20 標準；
• 氣流速度與換氣次數檢測：單向流區域測試氣流速度，非單向流區域測試換氣次數，確保氣流組織合理；
• 其他檢測：噪聲、振動、照明照度、純水水質、消防設施功能，均需達標並出具檢測報告。

4. 運維管理階段（長期保障）

• 定期巡檢與維護：每日檢查 HVAC 係統運行狀態（風機、過濾器壓差）、溫濕度 / 壓差數據；每周清潔潔淨區地麵、牆麵、設備表麵；每月測試 ESD 性能；每 6-12 個月更換初效 / 中效過濾器，每 1-2 年更換高效過濾器（根據壓差變化調整）；
• 應急預案：製定停電、設備故障、參數異常等突發情況的處理方案，配備備用電源（UPS）、備用風機，確保突發情況下潔淨環境不被破壞；
• 人員管理：建立潔淨區準入製度，人員需穿戴全套潔淨服（帽子、口罩、手套、鞋套），禁止攜帶粉塵、靜電物品進入；定期對運維人員進行培訓（設備操作、應急處理）。